企業資料顯示，上海微電子裝備(集團)有限公司(SMEE)成立於2002年3月，定位為“以市場為導向，被賦予國家使命的公司”。“十五”以來，SMEE先後承擔了多個國家光刻機IC前驅體開發的專項任務。在特殊技術的輻射下，SMEE根據半導體產業、泛半導體產業和信息技術的發展趨勢和市場需求，開發了壹系列高端設備，是國內唯壹擁有多領域、多品種生產線應用的高端光刻機供應商。