其電路制作在半導體芯片表面的集成電路也稱為薄膜集成電路。另壹種厚膜集成電路是由集成到襯底或電路板中的獨立半導體器件和無源元件組成的小型化電路。
從1949年到1957年，沃納·雅可比、傑弗裏·杜默、西德尼·達林頓和Yasuo Tarui都開發了原型，但現代集成電路是由傑克·基爾比在6543年開發的。它獲得了2000年的諾貝爾物理學獎，但同時期還開發了現代實用集成電路的羅伯特·諾伊斯(robert noyce)卻早於1990去世。