1.金屬膜:如鋁、銅、鉻、鈦、鋅等。，常用於電子、半導體、光學、裝飾等領域。
2.金屬氧化物薄膜:如氧化鋁、氧化鋯、氧化鈦、氧化銦錫等。，常用於光學、防護、電子、陶瓷等領域。
3.金屬氮化物薄膜:如氮化鋁、氮化鎢、氮化鈦等。具有高硬度、高熔點、高耐磨性和耐腐蝕性，常用於工具、汽車、航空等領域。
4.非金屬薄膜:如二氧化矽、氟化物、碳化物、氮化矽等。，常用於電子、光學、保護等領域。
5.有機薄膜:如聚合物、有機玻璃、矽膠等。，常用於電子、裝飾、防護等領域。
6.生物膜:如蛋白質、脂類、核酸等。，常用於生物醫藥、食品等領域。