阿斯麥為半導體制造商提供掩模對準器和相關服務。TWINSCAN系列是世界上精度最高、生產效率最高、應用最廣泛的高端光刻機型。世界上大多數半導體制造商從阿斯麥購買TWINSCAN型號,如英特爾、三星、海力士、臺積電和SMIC。
阿斯麥產品介紹。
阿斯麥的產品線分為PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列,其中PAS系列已經停產。AT系列是老款,大部分已經停產。市面上的主要型號有XT系列和NXT系列,分別是ArF和KrF激光光源。XT系列是比較成熟的機型,分為幹式和浸沒式,而NXT系列是主打高端機型,都是浸沒式。
阿斯麥的下壹代半導體設備——高NA EUV設備,是壹種將集光能力透鏡的數值孔徑(NA)從0.33提高到0.55的設備。比現有的EUV設備處理更復雜的半導體電路。