HEPA過濾器由隨意排列的纖維墊組成。影響功能的關鍵指標是纖維密度、直徑和過濾器厚度。HEPA過濾器纖維之間的空間大於0.3微米米。* *假設HEPA過濾器像篩子壹樣過濾比最大值小的顆粒是不正確的。至於膜過濾器，顆粒很大，和纖維之間最大的起點或距離壹樣寬，根本不可能從它們之間通過。但HEPA過濾器的設計目標是更小的汙染物，顆粒主要通過以下三種機制之壹被捕獲(它們堅持纖維):
攔截顆粒，使氣流進入纖維半徑範圍內，並遵循纖維半徑。包裝較大的顆粒無法避開纖維，被迫順著氣流的彎曲輪廓直接埋在其中壹根纖維裏；這隨著纖維分離的減少和更高的空氣速度而增加。壹種改進的擴散機制是，與氣體分子碰撞的結果是最小的顆粒，尤其是直徑小於0.1微米的顆粒，在通過過濾器的過程中受到阻礙和延遲；這種行為類似於蘇格蘭植物學家羅伯特·布朗，可能粒子的培育會通過兩種機制中的壹種；它在較低的空氣速度下成為主導。0.1微米米以下以擴散為主，0.4微米米以上以收緊和截留為主，在0.3微米MPPS附近，以擴散和截留為主。
初始過濾器氣流阻力和最終過濾器氣流阻力通常通過過濾器上的壓降來測量。最初的HEPA過濾器是在20世紀40年代的曼哈頓計劃中設計和使用的，用於防止空氣中放射性汙染物的擴散。它在20世紀50年代被商業化，並成為註冊商標。壹般術語是非常有效的過濾器。在過去的十年中，過濾器不斷發展，以滿足各種高科技行業對空氣質量越來越高的需求，如航空航天、制藥加工、醫院、醫療、核燃料、核能和電子微電路(計算機芯片)。
人工呼吸機HEPA過濾器規定值:過濾器效率性能標準及最小值I相當於NIOSHN100。美國能源部(DOE)在DOE的規定應用中對HEPA濾波器有特定的要求。標有“HEPA型”、“HEPA”或“99% HEPA”的產品在獨立實驗室可能不符合這些要求，可能無法進行測試。