納米壓印技術以其高效率、高分辨率和低成本的優勢吸引了眾多研究者和工程師的關註。MIr的壹篇評論甚至稱之為可能改變世界的十大技術之壹。納米壓印光刻根據模板特性可分為三種工藝:軟壓印、熱壓印和分步曝光。
壓印是將片材放在上下模具之間,在壓力下改變其材料厚度,用起伏的細線將擠出的材料填充在模具的凸凹型腔中。
得到在工件表面形成起伏狀凸起和文字或圖案的成型方法。如硬幣、獎章等。,都是壓制成型的。
大部分沖壓工作都是在封閉的模腔內進行,以防止金屬受壓後被擠出模具,而對於較大的沖壓工件,則可以使用開放的模腔進行壓制。
為了使沖壓、壓花時的工件質量好、精度高,坯料在墳印前要進行退火處理,還要經過酸洗或拋丸處理,表面要事先清理幹凈,無汙垢。沖壓後的精度在厚度方向壹般可以達到0.1mm,最高可以達到0.05 mm左右。
沖壓的毛坯尺寸可以根據沖壓前後重量相等的原則來確定。而且打印後需要修邊時,要增加必要的修邊余量。
擴展數據:
納米印記:
起初,納米壓印光刻技術的發展主要是為了解決集成電路線寬突破幾十納米的瓶頸問題。隨著壓印技術越來越廣泛的應用,這種納米加工技術也逐漸進入其他研究領域。
納米壓印光刻是用於復制納米尺寸大面積結構的最有前途的下壹代技術之壹。由於傳統的熱壓印光刻和紫外壓印光刻存在模板成本高、圖形轉移不穩定、壓印效率低等缺點,這種低成本高效率的納米結構制作方法已逐漸應用於生物醫學、半導體加工和數據存儲等領域。
通過對最新壓印技術成果的篩選、分類和總結,給出了納米壓印技術在壓印技術、圖形成形技術和納米壓印技術應用方面的最新進展。
在壓印技術方面,介紹了大面積滾筒壓印技術、紫外壓印-光刻組合技術、快速熱壓印技術、氣相沈積成型技術、沈積收縮印刷技術和濕蝕刻收縮印刷技術。
在圖形成型方面,介紹了蘸筆、聚合物筆陣列、噴墨筆、聚合物納米球和規則嵌段聚合物五種圖形成型方法。
納米壓印技術的應用介紹了納米壓印技術在聚合物納米粒子、金屬納米套管、納米電極陣列和掃描探針制備中的應用。
這些研究成果極大地促進了納米壓印這壹新型納米加工技術的發展,使納米壓印技術更加成熟和多樣化,更具有工業應用價值。