公司成立於1989。1992成立美國子公司。1993收購德國霍爾澤公司,成立德國子公司。1997通過了德國T &;Uuml五、ISO 14001認證。成立了壹家關系企業,尹達微系統公司。1999成立日本子公司。與美國派克漢尼汾集團戰略聯盟。2000年成立瑞士子公司。中國臺灣省法人“R&D專利百強”總數排名第72位。2003年購買雲科工廠15,332平,建設工廠壹期工程。東京R&D中心成立於2004年。2006年,芝加哥子公司新工廠竣工並投入使用。臺灣省在“R&D專利百強”總數中排名第43位。2007年,臺中精密機械科技園區全球營運暨R&D總部破土動工。美國應用材料公司應用材料供應商認證合格。2007年《聯邦》雜誌評選的“臺灣省省制造業1000強”排名第439位。《聯邦》雜誌在2007年“世界企業公民”的骨幹企業中排名第四。2008年,在《聯邦》雜誌評選的2008年“世界企業公民”骨幹企業中名列第三。經濟部知識產權局在“2007年國內法人專利公告百強”中排名第32位。2009年,英聯邦雜誌在2008年“世界企業公民”的骨幹企業中排名第三。
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