對於藥廠有機廢氣的處理方法，壹般采用催化燃燒、低溫等離子凈化器+紫外光解設備冷凝、噴淋塔洗滌酸堿廢氣、吸附解吸處理、生物膜法等。
低溫等離子體純化:
這種方法的原理是，當施加的電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被分解，產生含有電子、各種離子、原子和自由基的混合物。
低溫等離子體設備主要是利用廢氣中的汙染物和高能電子、自由基等活性粒子在短時間內進行分解，最終達到降解汙染物的目的。
廢氣處理過程大概是這樣的:廢氣源→通過風管進入噴淋塔(與噴淋塔內的高效脫臭器脫硫反應)→廢氣進入水氣分離器會去除水分→進入低溫等離子凈化器+紫外光解設備。
有機廢氣經過處理後，最終會生成二氧化碳和水，最終達標的氣體通過排氣管排入大氣。
其設備操作簡單，技術成熟，適用於大風量、高轉速的廢氣處理，這也是這種方法近年來發展迅速的原因之壹。