1、應變式壓力傳感器應變式壓力傳感器主要通過測量彈性元件的應變來測量壓力。根據材料的不同,應變元件分為金屬和半導體。當導體和半導體材料發生機械變形時,它們的電阻值會發生變化。
2.壓阻式壓力傳感器壓阻式壓力傳感器是由單晶矽材料和集成電路制成的傳感器。當單晶矽材料受到力的作用時,電阻率會發生變化。此時,通過測量電路,將輸出與力的變化成正比的電信號。與粘貼式應變片不同,被測壓力主要是通過矽膜片感受的。
3.電容式壓力傳感器電容式壓力傳感器主要是利用電容,將測得的壓力轉換成電容值變化的壓力傳感器。電容器的電極是圓形金屬膜或金屬鍍膜。當薄膜在壓力下變形時,電容發生變化,並形成電信號。
4.壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器利用壓電效應,利用電器元件等機械將壓力轉化為電能,進而進行相關的測量工作。
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