隨著化合物半導體器件(如GaAs MMIC、InP MMIC、GaN藍光LED)市場的不斷擴大，對MOCVD系統的需求越來越大。目前世界上最有實力的MOCVD系統廠商是德國的愛思強，美國的Emcore，英國的Thomas ~ (1999被愛思強合並)。因為MOCVD系統的關鍵問題是保證材料生長的均勻性和可重復性，所以不同廠家的MOCVD系統的主要區別在於反應室的結構。Aixtron采用行星反應器，Emcore采用渦輪盤反應室(業務已出售給Veeeo公司)，Thomas Swan(該公司於2003年2月被Aixtron合並)采用閉式耦合噴淋頭(CCS)反應室。目前國內進口的MOCVD系統約有200臺，其中Aixtron MOCVD系統和Emcore MOCVD系統占絕大多數，還有少數Thomas Swan MOCVD系統、法國ASM MOCVD系統和日本RIPPON SANSO MOCVD系統，主要用於GaN LD/LED的研究和制造。
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