微米級、納米級的薄膜，可以用薄膜厚度測量儀AF-3000系列測量；
AF系列精度達0.1nm，可測10層膜的膜厚，還支持客制化，可離線/在線/Mapping等多場景應用。
AF系列采用的是分光幹涉原理，從測量原理來看，只能測透光或半透光的薄膜，理論上來說金屬和類金屬化合物這類不透光材質的薄膜，是無法檢測的。
但是如果這個薄膜薄到壹定程度，部分材質的薄膜會呈現透光性，這時，薄膜厚度測量儀便可測量出金屬材質薄膜和類金屬化合物薄膜的厚度，AF系列也測試過很多不透光材質的薄膜，如鉻、鎳、鈦等。
但不同材質、不同厚度的金屬薄膜和類金屬化合物薄膜，對不同波長的光是否呈現透光性是不確定的。AF系列采用的是氘燈和鎢鹵素燈，最大光譜波長覆蓋180nm~2400nm，若是有什麽不透光材質薄膜需求檢測，AF系列也可以幫忙做壹下測試，看看可行性。
若不透光材質的薄膜在產品上不是全覆蓋的，也可以采用白光幹涉儀AM-7000系列進行檢測，AM系列精度更高，最高可達0.03nm。