1978成功研制出國內第壹臺圖形生成器。
1984成功研制中國第壹臺步進式光刻機，獲得電子行業科技進步壹等獎。
1993成功研制出中國第壹臺雙面光刻機，獲得國家新產品獎和電子行業科技進步三等獎。
1997成功研制國內首臺超低溫陣列探針測試臺，獲電子工業科技進步二等獎。
1997成功研制出國內第壹臺全自動探頭試驗臺。
2005年，國家重點科研項目“SB-601雙面光刻機”通過了設計定型和驗收。該設備是國內首款實用的6英寸雙面光刻機，處於國內領先水平。
2005年擁有金剛石內圓刀片電鍍成型裝置技術、旋轉洗滌設備專用無刷電機驅動裝置、油墨打印頭三項專利，獲第十五屆全國發明展銀獎。
2005年，8英寸晶圓減薄機通過國家鑒定，該設備的進給分辨率可達0.1μm，世界先進。在此基礎上，在國內率先薄化60μm晶圓。