1、華工科技微電子裝備股份有限公司，在國內占據了百分之八十的市場份額，截止2023年6月6日為止該公司已在微電子制造相關領域申請了2400余項專利，稱得上是國內的光刻機巨頭了，相當於中科曙光的專利比華工科技多。
2、中科曙光早在上世紀八十年代就開始研制和生產光刻機，並且在中國高端芯片制造領域占據著重要地位，其光刻機的質量和穩定性有著非常高的評價，華工科技雖然也在光刻機領域有所涉獵，但相比於中科曙光還存在明顯的差距，光刻機是半導體制造過程中非常重要的壹種設備，能夠將芯片圖形轉移到矽片上，是制造高質量芯片的關鍵之壹。