陳迪，男，1961出生，1978考入中國科學技術大學，1980國家公派赴德國留學。1986和1990分別獲得德國漢堡大學化學碩士和博士學位。1990-1992在德國MicroParts公司從事MEMS微加工技術博士後研究工作。1993至今，上海交通大學副教授、教授、博士生導師，現任上海交通大學微納科學與技術研究院副院長。先後主持和承擔國防科工委、國家自然科學基金、科技部、教育部、上海市科委、教委、德國西門子、美國3M等科研項目40余項。開發了新型X射線掩模制備工藝和新型非矽三維微機械加工技術——DEM技術，利用MEMS技術開發了各種微流控芯片、植入式生物微電極陣列、MEMS集成探針卡、微波定向天線和MEMS慣性開關，應用於生物醫學、信息產業和國防。發表論文120余篇，其中70余篇被SCI、EI收錄，論文被引用270余次。申請發明專利29項，其中授權16項，參與撰寫專著4部，主持出版《微細加工概論》譯著1篇。“非矽MEMS技術及其應用”獲2007年上海市技術發明壹等獎，2008年國家技術發明二等獎。“微流控生物芯片的結構、制作、修飾及應用”獲2008年高校科研自然科學二等獎。目前，其研究領域為非矽MEMS微加工技術、植入式生物微系統、微流控芯片和RF-MEMS。陳迪教授是中國儀器儀表學會微納器件與系統技術分會常務理事，全國微機電技術標準化技術委員會委員，《微納電子技術、納米技術與精密工程》、《微加工技術》、《功能材料與器件雜誌》編委。
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