抗蝕劑顯影方法沒有權利-它被視為被撤回。
申請號:98108925.9申請日期:1998-05-22。
摘要:壹種抗蝕劑的顯影方法,當抗蝕劑浸入顯影液中時,抗蝕劑旋轉。
申請人:西門子。
就算專利號沒錯,妳也找不到廠家的電話。