膜片既是力敏電阻器的基底,又是外界應力的接受者,因此是壓力傳感元件的核心部分。矽膜片的背面要用機械或化學腐蝕的方法加工成中間薄的凹形,稱為矽杯,其正面要做壹個壓阻全橋。如果矽杯是壹個圓形的凹坑,就叫圓形膜片。膜片還有方形、矩形等多種形式。當有外力作用時,橫膈膜各處受力不同。模板上四個橋臂電阻的位置和方向要根據晶向和應力來確定。
膜片的設計和制造決定了傳感器的性能和範圍。圖3.2所示為充油封裝結構,在傳感器的波紋膜片和芯片之間填充矽油。目前,這種結構的壓力傳感器已經相當成熟。量程為0 ~ 100 kPa至0 ~ 60 MPa,工作溫度為-55℃ ~ 125℃,精度為0.5% ~ 0.1%。它可以測量表壓和絕對壓力。
矽壓阻式壓力傳感器的另壹種封裝形式是將矽應變片用於玻璃粉直接燒結在金屬膜片上,形成燒結壓力傳感器。由於傳感器的結構特點,彈性元件可以直接與被測介質接觸,易於微型化,適用於動態壓力測量。該傳感器的量程為0 ~ 100 kPa ~ 0 ~ 80 MPa,工作溫度為-55℃ ~ 125℃,精度為0.5% ~ 0.1%。固有頻率從幾千赫茲到幾百赫茲不等,可用於氣流模型試驗、爆炸壓力試驗和發動機動態測量。