主要功能:
1，逐點掃描檢測；
2.外延片集成度、光強和主波長的計算機分析計算。峰值波長、光譜半寬度等參數；
3.以繪圖、橫斷面分布圖和單點光譜的形式顯示分布和數據；
4.顯示每個參數的統計結果；
5.顯示所選範圍的統計參數；
6.可以進行局部掃描，對掃描結果進行去孤立點和去邊緣處理；
7.利用白光反射光譜測量薄膜厚度，並以繪圖形式顯示分布和數據；
8、配備離線數據處理軟件。
該儀器運行可靠，結構緊湊。所有檢測和數據處理均由計算機自動完成。采用用戶友好的窗口界面，易於操作。用戶只需很少的培訓就可以使用，並且可以根據不同的外延片選擇不同的激光器。