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計算光刻和opc有什麽區別?

定義不同。

1,OPC技術通過調整掩模圖形的透過率分布來校正光學鄰近效應,從而提高成像質量。

2.計算光刻是利用計算機模擬光刻過程的光化學反應和物理過程,從理論上指導光刻工藝參數的優化。

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