六氟化鎢的密度約為每升13g,約為空氣的11倍,因此是密度最大的氣體。六氟化鎢是由氟和鎢形成的無機化合物,化學式為WF6。六氟化鎢是壹種無色、有毒且具有腐蝕性的氣體,半導體器件制造業使用WF6的化學氣相沈積來形成鎢膜。