當然最先進的光刻機，是荷蘭ASML公司制造的。由於受到專利限制，我國沒法買ASML制造的光刻機。當前上海微電子已研發出支持28nm工藝的光刻機，首臺已於2021年初交付客戶。28nm雖然相當於荷蘭ASML公司十年前的水平，但是卻代表了我國目前最高端的技術。