三坐標精密硬件包括:導軌(X/Y/Z軸)、軸承和電機驅動(空氣軸承和電機)、長度測量系統(光柵尺和讀數頭)和傳感器(探頭)。
Foldi坐標測量機采用梯形橫梁和下燕尾結構(已獲專利)，在保證剛性的前提下，有效減輕框架重量，提高運動性能，實現中心傳動，減小阿貝誤差，提高精度。
橋式三坐標測量儀還具有很強的逆向工程工作能力，也是壹種比較理性的數字化使用工具。由於測量機的精度更高，有助於對工件進行評定，還由於掃描可以提供比其他測量機單點測量更詳細的幾何形狀、形式和尺寸信息，測量機還可以與接觸式和非接觸式掃描探頭相結合。如果配合測量軟件使用，還可以有比較強大的掃描功能，可以完成壹些復雜工件和模型的復制，但實際上這種情況下直接進入程序會提高生產效率。