多晶矽生產工藝有三氯氫矽氫化合成、三氯氫矽提純、還原多晶矽、尾氣分離與回收等四道工序。目前世界上80%的多晶矽生產采用改良西門子法工藝，此工藝歷經五十多年的發展，在節能、環保、低成本生產方面取得長足進步，並針對太陽能行業用料的特殊需求，開發出矽烷法等生產成本更低、質量適合太陽能產品要求的多晶矽生產新工藝。
我國多晶矽的生產技術上有三道關鍵設備和技術是從德國、美國、日本引進的，而生產線上有四道工序***計有17項核心技術（均有自主知識專利）投入應用。尤其是核心的物料回收，關鍵工藝是自主研發的氯氫化技術（已經申報了中國專利），目前已經取得顯著效果。現在已經做到生產多晶矽產生的大量副產物—四氯化矽，可以全部轉化為生產多晶矽的中間原料—三氯氫矽。