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半導體制造,DNS清洗機是做什麽的使用哪些液另外IPA在清洗工序中是什麽意思
DNS是廠商名字,中文叫迪恩士,就是化學清洗槽(也叫酸槽/化學槽),主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸堿液體按壹定比例配置,目的是為了去除雜質,去離子,去原子,最後還有DI清洗。IPA是異丙醇,就是工業酒精,是用來clean機臺或parts的,是為了減少partical的。
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