壹.光學顯微鏡
光學顯微鏡是荷蘭的詹森父子於1590年發明的。現在的光學顯微鏡可以將物體放大1600倍，最低分辨率達到1/2波長。
二、電子顯微鏡
1，恩斯特·奧古斯特·弗裏德裏希·魯斯卡(德語:恩斯特·奧古斯特·弗裏德裏希·岸本瑠可，1906 1988年2月25日-1988年5月27日)，德國物理學家，電子顯微鏡的發明者，1986年獲得諾貝爾物理學獎。
2.1931年，恩斯特·魯斯卡發明了壹種電子顯微鏡，徹底改變了生物學。這使得科學家能夠觀察小到百萬分之壹毫米的物體。1986獲諾貝爾獎。
擴展數據:
顯微鏡的歷史演變；
在1590中，荷蘭的Z·詹森(詹森)和意大利的眼鏡制造商已經制造出了類似於顯微鏡的放大鏡。
1833，布朗(Brown):在顯微鏡下觀察紫羅蘭，然後發表他對細胞核的詳細論述。
1876，阿貝(Abbe):分析圖像在顯微鏡中成像時的衍射效應，嘗試設計最理想的顯微鏡。
蔡司(1886):打破了壹般可見光的理論極限，他的發明——Abbey type等壹系列鏡頭為顯微鏡學家解讀圖像開辟了壹個新的世界。
1930，列別傑夫:設計並匹配了第壹臺幹涉顯微鏡。另外，相差顯微鏡是1932年澤尼克發明的。
1952，Nomarski:發明了幹涉相位差光學系統。這項發明不僅獲得了專利，還以發明者本人的名字命名。
參考資料:
百度百科-顯微鏡