可見光垂直照射在被測薄膜上，壹部分光在薄膜表面反射，另壹部分穿透薄膜，然後在薄膜與底層的界面處反射，使薄膜表面反射的光與薄膜底部反射的光相互幹涉。它基於白光幹涉的原理，利用寬帶光源測量不同波長的反射數據。由於反射率n和k隨不同的薄膜而變化，根據這壹特性可以通過曲線擬合得到薄膜厚度。不同類型材料對應的參數用不同的模型描述，保證了不同類型材料膜厚測量的準確性。
大成精密設備膜厚儀采用非放射性先進測量技術，是測量膜片厚度的理想解決方案。
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