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薄膜測厚儀的工作原理和特點是什麽?

可見光垂直照射在被測薄膜上,壹部分光在薄膜表面反射,另壹部分穿透薄膜,然後在薄膜與底層的界面處反射,使薄膜表面反射的光與薄膜底部反射的光相互幹涉。它基於白光幹涉的原理,利用寬帶光源測量不同波長的反射數據。由於反射率n和k隨不同的薄膜而變化,根據這壹特性可以通過曲線擬合得到薄膜厚度。不同類型材料對應的參數用不同的模型描述,保證了不同類型材料膜厚測量的準確性。

大成精密設備膜厚儀采用非放射性先進測量技術,是測量膜片厚度的理想解決方案。

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