評價光纖連接器端面的球面半徑和光纖高度,首先必須測量連接器端面的形狀。幹涉儀具有測量精度高,速度快,成本低等優點,是測量表面形狀的壹個有效手段。圖3.是光纖連接器端面檢測幹涉儀的系統概要。由光源射出的光線經半透鏡反射到米羅幹涉物鏡後,光線聚焦於被檢測光纖連接器的端面,經端面反射後與米羅幹涉物鏡的反射面反射的光線壹同透過半透鏡,成像於CCD攝像頭。這時在CCD攝像頭上可以觀察到幹涉條紋。CCD攝像頭測得的圖像經圖像卡傳送到計算機進行解析處理。就可以得到我們所需要的測量結果。由計算機經過控制卡及控制回路控制的PZT(壓電陶瓷組件)用於移動米羅幹涉物鏡以產生位相移動。
解析幹涉條紋可以應用傅立葉變換法2,3,4,也可以應用位相移動法5,6。傅立葉變換法具有簡單,快速,低成本等優點,但精度較低,壹般用於簡易型測量儀。對於光纖連接器端面形狀的測量,壹般采用解析精度較高的位相移動法。
必須指出的是位相連接是壹個比較復雜的過程。選擇不同的位相連接算法,計算速度和安定性將會不同。
(2)載物臺的傾斜調整
載物臺的傾斜調整是壹項關鍵技術。如果載物臺的傾斜調整精度不高,將極大地影響球面頂點偏心,APC角度及定位鍵角度的測量精度。圖4為傾斜調整和球面頂點偏心測量精度的關系概要。如圖4(a)所示,當載物臺傾斜調整完整時,幹涉儀光學系統的光軸將與被測定光纖連接器的插芯的中心軸平行。此時,旋轉被測定光纖連接器時,光纖連接器端面的球面頂點(環形幹涉條紋的中心如A點或B點)將繞光纖的中心O點旋轉,構成壹個以O點為中心的圓。測定的頂點偏芯值OA或OB將與實際的頂點偏芯相同。也就是說,無論旋轉光纖連接器到什幺角度,測定的頂點偏芯值的變化將不會太大。相反,如圖4(b)所示,當載物臺傾斜調整不完整時,幹涉儀光學系統的光軸將會與被測定光纖連接器的插芯的中心軸交叉成壹個角度。此時,旋轉被測定光纖連接器時,光纖連接器端面的球面頂點(環形幹涉條紋的中心如A點,B點,C點或D點)會繞壹個與光纖的中心O不相同的中心O*旋轉,構成壹個以O*為中心的圓。顯然,在不同位置測量的頂點偏芯值OA,OB或OC將與實際的頂點偏芯OD不相同。也就是說,旋轉光纖連接器後,測定的頂點偏芯值將會有很大的變化。從這個現象也可以得到壹個檢驗載物臺傾斜調整是否完整的方法。即,旋轉光纖連接器,依次測定頂點偏芯值,如果測定的頂點偏芯值變化不大,則載物臺傾斜調整是完整的。反之,則載物臺傾斜調整是不完整的。為了提高載物臺傾斜的調整精度,富士寫真光機株式會社開發了壹種高精度,操作簡單的載物臺傾斜調整技術(已申請多國專利)7,8,可以達到大大高於壹般調整方法的調整精度。
(3)測量再現性
測量再現性對光纖連接器端面檢測儀的測量精度有很大的影響。以頂點偏心為例,目前,絕大部分廠商生產的光纖連接器端面檢測儀的測量再現性精度大約在±5μm附近。這些數據可以從各廠家的網頁方便的查到。有的廠家以測量再現性的標準偏差σ來衡量。按照誤差理論的計算方法,此時的測量再現性最大誤差可達±3σ,大約也在±6μm附近。
壹般不可能要求測量儀器的測量精度高於測量再現性精度。所以再現性精度是判定測量儀器的測量精度最重要指標之壹。
光纖連接器端面檢測儀的測量再現性精度主要由光纖連接器端面檢測幹涉儀的測量再現性精度(由PZT的位相移動精度,CCD攝像頭的精度和圖像卡的A/D轉換器的精度,測量電路的噪聲,測量環境,如振動,溫度的變化決定),以及載物臺光纖連接器固定夾具的定位精度來決定。此外,壹般由於光纖連接器插入固定夾具的旋轉方向角度的不確定性(除APC光纖連接器),載物臺的傾斜調整精度也會影響測量再現性精度。
對於幹涉儀的測量再現性,可以固定光纖連接器於載物臺的固定夾具上,在不拔出光纖連接器的狀態下反復進行測量。然後,對測量的數值進行處理,從而評價幹涉儀本身的測量再現性。壹般來說,基於現代幹涉儀測量技術和幹涉條紋解析技術而開發的幹涉儀具有很高的測量再現性。不過,由於光學設計及光路布置不當,有些廠家的幹涉儀對振動很敏感,從而影響幹涉儀的測量再現性精度。
對於光纖連接器固定夾具的定位精度,可以多次插入/拔出被測光纖連接器,對同壹光纖連接器反復進行測量。然後,對測量的數值進行處理,從而評價光纖連接器固定夾具的定位精度。必須指出的是,由於大多采用某種標準器,如標準光纖連接器來進行載物臺的傾斜調整,載物臺的傾斜調整精度也會受到固定夾具的定位精度的影響,因此,提高固定夾具的定位精度是提高整個光纖連接器端面檢測儀的測量精度的關鍵。為了提高固定夾具的定位精度,富士寫真光機株式會社開發了壹種高精度,操作簡單,可靠性高的光
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