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什麽是集成電路?

集成電路的發明是多種技術不斷發展的綜合結果。

制造半導體集成電路的想法最早是由從事雷達研究的英國科學家達默提出的。他在1952年5月發表的壹篇論文中提出:“由於晶體管的出現和在半導體方面的研究成果,使得制造沒有連接線的單壹形狀的電子器件成為可能。該器件由多層絕緣材料、導電材料、整流材料和放大材料組成。去除每壹層中的某壹部分,可以使器件具有壹定的電學功能。”

達默的上述想法很有意義,可惜他本人未能付諸實踐。50年代以後,隨著軍事工業和航空航天工業的快速發展,迫切需要各種功能更強、功能更復雜的半導體器件,也希望器件越小越好。

在社會需求的刺激下,壹群早期來到矽谷開創電子行業的年輕微電子工程師,自然將研究目標瞄準了上述目標。他們設想以壹種新的形式將壹些晶體管和壹些元件組合成壹個更復雜的電路,而不是簡單地將它們拼湊在壹起。這個電路叫做集成電路。從外觀上看,它們是小矽片,所以人們也稱之為芯片。至今,這種芯片在各種電腦、計算器、各種電器設備中隨處可見。早在第二次世界大戰時,就有人嘗試在陶瓷基板上印刷墨水狀的電阻材料和鍍銀金屬片,制成電阻器和連接線的組合體。印刷電路技術的發展和晶體管的發明為集成電路的發明做了必要的技術準備。

現在人們認為世界上最早的集成電路是美國物理學家基爾比和諾伊斯在1958年獨立研究發明的。為了確定這項發明的專利權,他們公司之間有壹場長期的爭論。因此,回顧他們各自的發明過程是非常有趣的。

基爾比1923出生於美國密蘇裏州傑斐遜,1947畢業於伊利諾伊大學,1950獲得威斯康星大學碩士學位。

1958年5月,基爾比進入德州儀器公司僅三個月,他被安排研究電子設備的小型化。當時的電子設備用的是電子管,後來逐漸用了晶體管,但是體積龐大。

根據國防部的要求,基爾比的任務是研究如何通過使用更小的元件和更精細的布線,使電子設備變得更小、更緊湊、更靈巧。

今年夏天,當kilby的所有同事都去度假的時候,他坐在安靜的環境中的辦公桌前,苦苦思索小型化問題的解決方案。在他想出新方法之前,他屢次碰壁。後來,他意識到所有需要的電路元件,包括晶體管、電阻和電容,都可以用同樣的半導體材料制成。這些電路元件必須絕緣,才能獨立工作,互不幹擾;所有的電路元件都焊接在半導體晶片的襯底上或其附近,從而可以利用先進的半導體技術將電路相互連接,而無需擔心元件連接處的短路。當時基爾比稱這種電路為固體電路(現在也有人稱之為微電路)。1958年9月,基爾比的第壹個電路“相移振蕩器”成功。

諾伊斯1927出生於美國愛荷華州的壹個小鎮。他對現實世界充滿了好奇。十二三歲的時候,他和二哥先後造了壹架巨大的滑翔機,組裝了壹輛汽車。他在大學裏同時學習物理和數學,對晶體管及其應用也很感興趣,在晶體管方面打下了紮實的理論基礎。1949考上博士後,我仍然選修了壹些對晶體管基礎研究有幫助的課程,並且在學術活動中,有機會結識了晶體管領域的著名專家,如肖克利等人。

諾伊斯在1953拿到博士學位後,更喜歡去小公司工作,工資很低。他認為:“越小的地方,越能得到多方面的鍛煉,有利於發揮作用。這樣既方便選擇合適的課題進行研究,又能成為企業家。”

肖克利1955在矽谷創立肖克利半導體公司時,諾伊斯是聘請的優秀科技人才之壹。在肖克利半導體實驗室成立的第壹年,諾伊斯和他的同事盡力鼓勵肖克利將研究重點轉移到矽晶體管上,但肖克利堅持四層二極管的研究。由於認識上的分歧,諾伊斯在1957年和其他7個年輕人壹起離開了肖克利公司,成立了飛兆半導體公司,成為矽谷第壹家研發矽晶體管的公司。從這個意義上說,諾伊斯早年想當企業家的願望真的實現了。

當時,飛兆半導體首次在晶體管生產中使用“平面工藝”。技術工作由Henny主持,他是當時矽谷最有才華的科學家之壹。他提出的平面工藝方法是通過各種措施盡可能多地擠壓矽表面的氧化層,直至壓成平板狀,使器件的電極在同壹平面上。所以只要事先設計好晶體管的電極結構圖,用照相制版的方法濃縮成掩模板,就可以把三維晶體管做成平面晶體管。所以無論結構多麽復雜精密,晶體管都可以通過這種平面工藝壓縮在壹個小小的半導體矽片上。

平面工藝方法的引入讓飛兆科學家的思路豁然開朗,他們頓時看到了令人振奮的應用前景。他們意識到,不僅可以在壹個矽片上放置幾個晶體管,而且可以在壹個矽片上放置幾十個、幾百個甚至幾百萬個晶體管。

平面技術很快被應用於集成電路的制造。飛兆公司的科學家發現,通過使用光刻技術,可以在矽表面按照壹定的規則重復排列相同的晶體管,同時,這些晶體管可以相互連接。仙童公司副經理諾伊斯等人提出了制造集成電路的平面技術方法,並主持制造了世界上第壹個用半導體矽制成的集成電路。

德州儀器的Kilby當然也意識到了飛機技術的巨大價值。在諾伊斯之前6個月,他成功實現了在制造“相移振蕩器”時將電子電路放置在鍺芯片上的想法。但是諾伊斯制造的矽集成電路比基爾比制造的鍺集成電路更實用,更容易生產。

當他後來回憶起自己32歲時發明集成電路時,諾伊斯幽默地說:“我發明集成電路是因為我是個懶人。”當時認為用電線連接電子元件太麻煩。我希望越簡單越好。"

基爾比在德州儀器公司發明了後來稱為集成電路的“固態電路”後,立即得到了公司負責人的關註。他們意識到了這種新的電子設備的重要性,並預言它將被廣泛應用,因此必須大力推廣。

1959年2月,基爾比為自己的“固態電路”申請了專利。不久之後,德州儀器宣布他們已經制造出比火柴頭還小的半導體固體電路。而飛兆公司的諾伊斯,雖然之前也用平面技術制造過半導體矽集成電路,但是沒有及時申請專利。直到7月1959,諾伊斯才想到走專利申請程序,但時間比基爾比晚了半年。

此後,兩家公司就集成電路的發明權爭論了很久,因為Kirby Noyce更早申請了專利。基爾比先獲得了專利,但他的設計想法未能實現。諾伊斯的平面技術後來成為微電子革命的基礎,但他直到基爾比之後才申請專利,更何況這項技術並不是他在飛兆公司壹個人發現和完善的。

最後法院判決集成電路發明專利歸基爾比,集成電路互連技術關鍵專利歸諾伊斯。從1961開始,他們的專利為各自的公司帶來了巨大的經濟效益,兩人都成為了國內外知名的微電子學發明家和奠基人,還獲得了美國科學家和技術人員最渴望聚在壹起的“巴倫廷勛章”。

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