嚴格地說，表面聲波壹般是指沿表面或界面傳播的各種模式的波。不同的邊界條件和傳播介質條件可以激發不同模式的聲表面波。有瑞利波、漏波、廣義瑞利波、水平剪切波(SH。Saw)、電聲波(B. G波)、蘭姆波等等。有愛情波，西薩瓦特波，斯通利波等。在具有層狀結構的襯底上。
早在九十多年前，人們就對這種波進行了研究。1885年，瑞利在地震波研究的基礎上，從理論上闡述了彈性波在各向同性固體表面上的特征。但由於當時科技水平的限制，這種聲表面波還沒有在實際中得到應用。直到六十年代，由於半導體平面技術和激光技術的發展，出現了大量的人工壓電材料，為聲表面波技術的發展提供了必要的物質和技術基礎。
作為60年代末發展起來的壹門新興科學技術，它是聲學和電子學相結合的邊緣學科。由於聲表面波的傳播速度比電磁波慢10萬倍，並且在其傳播路徑上易於采樣和處理，因此利用聲表面波來模擬電子的各種功能，可以使電子器件實現小型化和多功能化。同時，聲表面波器件在VHF和UHF頻段以非常簡單的方式提供了其他方法難以獲得的信號處理功能，因此聲表面波技術在雷達、通信和電子對抗等領域得到了廣泛的應用。聲表面波的應用最早是在軍用雷達、廣播電視領域作為穩頻濾波器使用。
1949年，在貝爾電話實驗室發現了鈮酸鋰單晶。1964年，發表了激勵聲表面波的平面結構換能器專利。特別是1965年，R. M.white和F.W.voltmer在《應用物理雜誌》上發表了題為“壹種新型聲表面波-電換能器-叉指換能器”的論文，從而實現了聲表面波技術的關鍵突破。