第壹階段:結構傳感器
它主要是利用結構參數的變化來感受和轉換信號。例如:電阻應變傳感器，利用金屬材料彈性變形時電阻的變化來轉換電信號。
第二階段:固體傳感器
這種傳感器是從20世紀70年代發展起來的，由半導體、電介質、磁性材料等固體成分組成，利用材料的某些特性制成。比如利用熱電效應、霍爾效應和光敏效應，分別制作熱電偶傳感器、霍爾傳感器和光敏傳感器。
20世紀70年代末，隨著集成技術、分子合成技術、微電子技術和計算機技術的發展，集成傳感器出現了。集成傳感器包括兩種類型:傳感器本身的集成和傳感器與後續電路的集成。例如:電荷耦合器件、集成溫度傳感器AD590集成霍爾傳感器UGN3501等。這種傳感器主要具有成本低、可靠性高、性能好、接口靈活等特點。集成傳感器發展非常迅速，目前約占傳感器市場的2/3。向低價、多功能、系列化發展。
第三階段:智能傳感器
80年代發展起來的所謂智能傳感器，是指具有壹定的檢測、自診斷、數據處理和對外界信息的適應能力，是微機技術和檢測技術相結合的產物。80年代的智能測量主要是基於微處理器，將傳感器信號調理電路、微型計算機、存儲器、接口集成在壹塊芯片上，使傳感器具有了壹定的人工智能。
90年代，智能測量技術進壹步完善，在傳感器層面實現智能化，使其具有自診斷、記憶、多參數測量、聯網通訊等功能。
擴展數據:
傳感器是壹種能夠感知被測信息的檢測裝置，能夠將感知到的信息按照壹定的規則轉換成電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制的要求。
傳感器廣泛應用於社會發展和人類生活的各個領域，如工業自動化、農業現代化、航空航天技術、軍事工程、機器人、資源開發、海洋探索、環境監測、安全、醫療診斷、交通運輸、家用電器等。
傳感器的特點包括小型化、數字化、智能化、多功能、系統化和網絡化。它不僅促進傳統產業的轉型升級，而且可能建立新的產業，從而成為21世紀新的經濟增長點。小型化是基於MEMS技術，並已成功應用於矽器件制作矽壓力傳感器。
壹般按其基本傳感功能可分為十大類:熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、輻射敏元件、色敏元件、味敏元件。
參考資料:
百度百科-傳感器