Hepa過濾器是生物安全櫃的核心部件，由隨機排列的纖維墊組成。HEPA過濾器是壹種可處理的幹式高效空氣過濾器，由層壓硼矽微纖維制成。影響該功能的關鍵因素是纖維密度和直徑以及過濾器厚度。
壹般醫療用的HEPA過濾系統也是采用高能紫外線模塊來殺滅過濾介質中的病毒和活菌。壹些HEPA過濾器的額定HEPA單位效率為99.995%，用於控制空氣中細菌、病毒或其他有害顆粒傳播的疾病。
高效微粒空氣過濾器
最初的HEPA過濾器是在20世紀40年代的曼哈頓計劃中設計和使用的，用於防止空氣中放射性汙染物的擴散。它在20世紀50年代商業化，最初的術語成為A的註冊商標，壹個通用術語是非常高效的過濾器。？
HEPA過濾器的規定值適用於所有能獲得相同過濾效率性能標準和最小值的非常高效的空氣過濾器，相當於最近的NIOSHN100。美國能源部(Doe)在Doe的規定應用中對HEPA濾波器有特定的要求。