滑閥泵的適用範圍和條件與旋片泵基本相同。
滑閥泵由於其結構特點，容量遠大於旋片泵，常用於大型真空設備中。滑閥泵有單級和雙級兩種形式。小泵單級泵的極限壓力是多少？0.6Pa，用於大型泵？1.3Pa，兩級泵的極限壓力？0.06Pa(兩個煤氣鎮都關閉)。
滑閥泵的旋轉質量偏心。
如果沒有很好的質量平衡，就會產生很大的振動。而泵的旋轉質心的運動軌跡是壹條形狀復雜的閉合曲線，很難完全平衡滑閥泵的慣性力。
滑閥泵的振動限制了泵速的提高，壹般在350 ~ 600 r/min，有的在1000r/min以上。
新型三腔滑閥泵的出現，解決了滑閥泵的質量平衡，有效地控制了泵的振動，提高了泵速。
圖1
滑閥泵工作原理圖
該泵主要由泵體、偏心輪、滑閥組件和導軌組成。
與泵腔同心的傳動軸帶動偏心輪轉動，偏心輪帶動滑閥環運動，使滑閥桿在導軌中上下滑動和左右擺動。滑閥將泵腔分為A、b兩部分，當驅動軸按圖示方向轉動時，A腔容積增大，壓力下降，氣體通過滑閥桿A腔壹側的開口進入A腔，此時處於吸氣過程中。當滑閥處於左上位置時(圖3-16c)，A腔容積達到最大，此時進氣口與A腔隔絕，完成吸氣過程；空腔B的體積減小，氣體被壓縮。當B腔內的氣體壓力達到排氣壓力時，油封的排氣閥被推開，開始排氣。當滑閥處於左上位置時，排氣結束。
1.泵蓋
2.氣體鎮流控制閥
3.導管
4.止回閥
5.油氣分離器
圖2
滑閥泵結構圖