有哪些有趣的納米機電系統？

在過去的20年裏，人們壹直在積極研究MEMS。隨著制造工藝精度的提高，器件的尺寸迅速縮小，出現了納米級的MEMS，這就是納米機電系統(NEMS)。NEMS是基於MEMS技術的新概念，是指壹類在特征尺寸和效應上具有納米技術特征的超小型機電壹體化研究領域，包括量子效應、納米尺度結構產生的界面效應以及以納米尺度效應為特征的器件和系統，如納米尺度的機械設備、電子器件、計算機和傳感器等。NEMS技術壹出現，奈米機械振蕩器和感應器、奈米機電共振器以及其他裝置的原型就被開發出來。NEMS技術將在各個領域具有強大的生命力。