流程為兩塔。原料空氣由壓縮機加壓後，經過空氣預處理裝置除去油、塵埃等固體雜質及水,並冷卻至常溫，經過處理後的壓縮空氣由進氣閥進入裝有分子篩的吸附塔，空氣中的氮氣、二氧化碳等被吸附，流出的氣體即為高純度的氧氣，當吸附塔達到壹定的飽和度後，進氣閥關閉,沖洗閥打開，吸附塔進入沖洗階段，過後沖洗閥關閉，解吸閥打開進入解吸再生階段，這樣即完成了壹個循環周期。