1967年，Egger和Petran成功地用* * *聚焦顯微鏡制作了壹個光學截面。
1977，Sheppard和Wilson首先描述了光和被照射物體的原子之間的非線性關系以及激光掃描儀的拉曼光譜。
1984年，Biorad推出了世界上第壹臺商業化的* * *聚焦顯微鏡，型號為SOM-100，掃描方式為步進掃描。
將1986 MRC-500改進為光束掃描，用作生物熒光顯微鏡的* * *聚焦系統。
1987年，懷特和阿莫斯在英國《自然》雜誌上發表了“聚焦顯微鏡* * *時代的到來”壹文，這標誌著LSCM已經成為科學研究的重要工具。
隨後，蔡司、徠卡、Meridian、奧林巴斯等多家公司相繼研發出不同型號的* * *調焦顯微鏡，產品性能不斷提升更新，應用範圍越來越廣。