它是在微電子技術基礎上發展起來的交叉學科前沿研究領域。經過40多年的發展，它已成為舉世矚目的重大科技領域之壹。涉及電子、機械、材料、物理、化學、生物、醫學等學科和技術，應用前景廣闊。
截至2010年底，全球約有600家公司從事MEMS的研究和生產，開發了包括微壓傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數字微鏡顯示器等數百種產品，其中MEMS傳感器占相當大的比重。MEMS傳感器是利用微電子和微機械加工技術制造的壹種新型傳感器。
擴展數據
應用—
MEMS傳感器應用於無創胎心率檢測，檢測胎心率是壹項技術性很強的工作。由於胎心率較快，用傳統聽診器甚至帶放大功能的超聲多普勒儀手工計數很難準確測量，在每分鐘L20 ~ 160次之間。
具有數字顯示功能的超聲多普勒胎心監護儀價格昂貴，僅在少數大醫院使用，無法在中小醫院和廣大農村推廣。另外，超聲波振動波作用於胎兒，會對胎兒產生很大的不良影響。雖然探測劑量很低，但屬於破壞性探測的範疇，不適合經常性、重復性的檢查和家庭使用。
百度百科-MEMS傳感器