1867年，美國的C.F.Allen和L.W.Campbell獲得了木材過熱蒸汽幹燥裝置的專利。第壹次世界大戰期間，美國的H.D.Tiemann對木材的過熱蒸汽幹燥進行了開創性的研究。從聯邦德國的1950、F.F.P.Kollmann等人，以及從1972開始，我國南京林學院在過熱蒸汽幹燥的研究、推廣和應用方面做了大量的工作。
過熱蒸汽作為幹燥生產中的介質，是由木材蒸發的蒸汽和蒸汽噴射管噴出的飽和蒸汽流過加熱器被加熱到過熱狀態而產生的。與濕空氣相比，過熱蒸汽放熱系數高，傳熱效率高，對木材的滲透性強，過熱狀態不穩定，傾向於快速放熱並轉化為飽和蒸汽，所以木材加熱幹燥速度快。此外，在相同溫度下，過熱蒸汽的相對濕度高於濕空氣，因此具有較高的木材平衡含水率，幹燥條件溫和。但窯殼的氣密性很高，以防止空氣滲入和窯內介質的異常泄漏。
過熱蒸汽幹燥過程簡單易操作，不需要調節濕球溫度。幹球溫度通常分為兩個階段:木材的含水率在纖維飽和點以上和以下。
過熱蒸汽幹燥對木材強度的影響及其適用範圍與高溫濕空氣幹燥相似。