我國首次提出並開展了公斤級MEMS衛星的研制工作。基於MEMS技術的發展，本文提出了壹個新概念——MEMS衛星的研制，並在相關MEMS器件研制的基礎上完成了原理樣機的研制。
成功將MEMS技術與空間應用技術相結合，提出了基於MEMS技術的航天器功能部件小型化問題，開展了基於* * *振動隧道技術的磁傳感器和慣性傳感器研究以及微型空間光學傳感器研究，完成了樣品研制。
研制了基於MEMS矽陀螺儀、MEMS應時陀螺儀、微光纖陀螺儀和MEMS矽加速度計的微慣性測量單元(MIMU)，創造性地解決了低精度慣性傳感器的集成應用問題。成果通過信息產業部技術鑒定，處於國際先進水平，已廣泛應用於大型絕對測量(已獲國家發明專利)、彈機分離瞬時姿態測量、衛星姿態測量控制等領域。2003年獲北京市科技進步二等獎。
首次提出了壹種基於近紅外激光散射原理的半導體材料微缺陷無損檢測新方法，並研制了樣機。表面微裂紋激光超聲檢測技術的創新研究。成果通過信息產業部技術鑒定，處於國際先進水平，相關成果獲得國家發明專利。2004年獲北京市科技進步二等獎。
在國內首次開展MEMS陣列微推力器的研制，提出並實現了由控制層、點火層、助推層和推力層組成的6′6微推力器樣機。