英文：ultrasonic motor
由於激振元件為壓電陶瓷，所以也稱為壓電馬達。80年代中期發展起來的超聲波電機(Ultrasonic motor，USM)是基於功能陶瓷的超聲波頻率的振動實現驅動的新型驅動器。超聲電機是壹個典型的機電壹體化產品，由電機本體和控制驅動電路兩部分組成。產品涉及到振動學、波動學、材料學、摩擦學、電子科學、計算技術和實驗技術等多個領域。超聲波電動機打破了由電磁效應獲得轉速和轉矩的傳統電機的概念。
與傳統電機相比，它具有以下特點與優點：低速大力矩輸出；功率密度高；起停控制性好；可實現直接驅動；可實現精確定位；容易制成直線移動型馬達；噪音小：無電磁幹擾亦不受電磁幹擾；需使用耐磨材料(接觸型USM)和高頻電源等。但它也有自己的缺點，如：功率小；壽命短等。
超聲電機的兩個顯著特點是：1)低速大力矩輸出：2)保持力矩大，宏觀表現為起停控制性好。超聲電機能大力矩輸出是因為激振元件采用大功率密度的壓電陶瓷材料。同尺寸的超聲微電機的力矩比靜電微電機高3-4個量級：比電磁微電機高1．2個量級且輸出轉速也比其它類型的微電機低。超聲電機的保持力矩至少是最大輸出力矩的2倍多，具有大的保持力矩是因為電機的定、轉子間依靠摩擦力實現轉子的驅動。由於以上特點，與超聲電機相連接的系統無須齒輪減速機構和制動機構，簡化了應用系統的結構。超聲波電機有著誘人的應用前景，成為研究的壹大熱點。具體地說，有以下幾方面：信息機器、光學儀器、微機器人、醫療機器、探測系統、精密加工等。超聲電機的發展趨勢是：大力矩、小尺寸、高效率、長壽命。