——峨眉半導體材料廠、所改革開放30年成就回顧。
1.頑強攻關，建成中國第壹條具有自主知識產權的多晶矽生產線
多晶矽是電子信息的重要基礎材料，被譽為“微電子建築的基石”。它是生產單晶矽的唯壹原料。1958年，中國開始采用“傳統西門子法”生產多晶矽。傳統西門子工藝生產的多晶矽不僅在數量、質量、品種、價格等方面不能滿足電子信息產業發展的需要，而且能耗高、物耗高、生產成本高、環境汙染嚴重，無法擴大生產，導致我國多晶矽產量萎縮，瀕臨滅絕。由於半導體多晶矽在國民經濟和國防軍事工業中的重要性，國家投入了大量的人力財力試圖引進國外先進的多晶矽生產技術，但未能如願。在這種情況下，E-Semifactory和研究所從65438到0987進行了多晶矽技術的研究實驗。經過10多年的努力，終於攻克了多晶矽生產“改良西門子法”中的四項核心技術，提前199+00個月建成了我國第壹條具有自主知識產權的年產100噸多晶矽生產線，並於同年年底全面投產，2000年傳承10噸。專家壹致認為，生產線從技術到設備，從設計到操作，都是由中國科技人員獨立完成的系統工程。在實施過程中，廣大科技人員努力攻關，勇於創新，解決了15項關鍵技術。它的成功標誌著我國已基本掌握了世界先進的多晶矽生產技術——改良西門子法，具備了設計、建設和管理更大規模多晶矽生產的自主技術和能力。這條生產線獲得了國家計委2001頒發的“高技術產業化示範工程獎”，同年5月獲得四川省科技進步特等獎。
2001年後，EBA廠院成功申請“1000噸/年多晶矽高技術產業化示範工程”項目，掌握並實施了改良西門子法核心技術。
二是技改擴產，產品檔次不斷提高，產量不斷擴大。
多晶矽還原爐從投產初期的3對棒成功擴容至6對棒、9對棒，直至18對棒。2004-2005年，E半廠完成了“年產200噸太陽能多晶矽生產線技術改造項目”，使產能提高到200噸/年。自行研制成功18對棒的大型節能高效還原爐，單爐產量可達1噸以上。長期連續運行情況很好，使我廠和研究所在大型還原爐的設計制造技術和應用技術上穩步攀上新臺階。
單晶矽1995之前，直拉單晶矽產品尺寸都在φ 3英寸以下，市場競爭力不強。自1996以來，我們采購了10臺國產62型直拉爐、3臺80型直拉爐和3臺大型爐體(自制器具)，不僅擴大了產能，還通過技術創新，將主流產品尺寸從φ 3英寸提高到4-6英寸，提高了產品競爭力。φ8英寸直拉單晶矽在E半廠和研究所成功提拉。區熔單晶矽先後克服了介質輻照摻雜和氣相摻雜技術，大大改善了截面不均勻的狀況，滿足了軍工產品的需要。我公司還建立了與單晶矽生產相配套的φ 4-6英寸切割、研磨、拋光生產線，提高了產品的技術含量和附加值。從1996開始，我們的直拉單晶矽產品進入美國市場，從1998開始，矽拋光產品打開香港市場。我們還開發了30多種高技術含量的新產品並投放市場，其中10多種新產品填補了國內空白。鄂板所(廠)研制的區熔高阻矽單晶獲省部級獎勵20余項，其中6項為中國尖端科技成果。
高純材料E-Semifactory的高純材料包括24種元素，50多個品種，280多個規格。純度為5-7“n”(99.999% ~ 99.99999%)，部分元素達到8“n”(99.99999%)。品種全國第壹，純度全國第壹。經過技改擴建，高純銻、砷、錫、銦、碲、鎘、磷等品種的生產能力有了很大提高。其中，高純銻產能擴大了20倍，從每年500公斤擴大到12噸，高純砷產能也增加了4-5倍，實現了產業化。鄂板廠和研究所已成為中國最大的高純金屬生產和研究基地，國內市場占有率達80%，並具備大量出口的能力。同時，EBA廠所先後與信息產業部、兵器工業有關院所合作，在“氣象衛星”、“資源衛星”、“先鋒衛星”等多項軍事重點任務和項目中，提供了Ga、In、As、Sb、te、Cd等優質高純材料，多次受到國務院、中央軍委、科委的嘉獎。
主要產品的生產經營及產量到2007年底，鄂板廠主要產品的生產經營及產量比1978翻了幾番。比如1978年工業總產值為10萬元，2007年為3.427億元。近30年來主要產品的產量變化如下表所示。
主要產品78年(產量:噸)2007年(產量:噸)
多晶矽6 155
單晶矽2 132
矽片加工0.178 47
高純度金屬2(容量)65(容量)
三、做大做強，各項工作齊頭並進，成績顯著。
我公司以發展中國半導體材料產業為己任，壹直致力於新產品、新工藝、新技術的研發。* * *取得重大科研成果300多項，完成新產品試制協議6000多項，為我國國防工業和洲際導彈、水下運載火箭、實驗通信衛星、北京正負電子對撞機、神舟六號飛船等國家重點工程提供了急需的優質半導體材料，多次獲獎。特別是改革開放以來，在科研、質量、安全、環保等方面取得了顯著成績。從1984到2005年，E-Semifactory在多晶矽、單晶矽、高純金屬方面獲得87項科研成果獎，其中省部級二等獎23項，三、四等獎36項。其他獎項如下:
-1990矽單晶磨片獲國家優質產品銀獎；
-65438+1992年6月5日被國家環保局授予全國環境保護先進企業稱號；
——2000年，我廠及產品通過國家質量體系認證；
——2000年5月23日，E半廠獲省科技進步特等獎；
——2001 11半導體用高純金屬獲國際(天津)發明專利及新技術新產品博覽會金獎；
——2003年6月5438日至10月28日，鄂板廠被四川省科技廳授予“四川省高新技術企業”稱號；
——2006年被中國人民和國防科工委授予國防科技工業合作先進單位稱號；
——2008年7月，被國際科委命名為科技產業國際先進技術研究與應用中心晶體材料加工(應用)依托單位。
四、強強聯合，走規模化產業集群發展之路
2001年2月26日，美國晶體技術公司(AXT)的合資企業眉佳高純材料有限公司正式上市。雙方投資2880萬元(我公司75%，美方25%)建設年產20噸生產線。該項目於2002年投產，美國AXT公司包銷75%的產品，年銷售收入3000萬元，利稅10萬元。該項目的成功合作，是我廠、我所向高純金屬材料生產大型產業集群目標邁出的第壹步。
2006年6月28日，董琦與億邦在成都簽署合作協議，聯手打造光伏產業鏈。
●總投資30億元的3×1500噸多晶矽項目在樂山五通橋區順利推進。2007年2月，第壹座65，438+0，500噸土建工程全面開工，施工按計劃進行。現已進入設備安裝階段，預計2007年2月投產。二期1500噸項目預計2009年9月建成投產，三期1500噸項目將於2009年開工。
●2007年6月13日至6月15日，“2007第三屆中國太陽能矽材料與太陽能電池研討會”在峨眉山賓館成功召開。來自國內外的600多名專家、學者和經銷商齊聚峨眉山下，共同探討可再生能源的開發利用。
●E半廠領導班子榮獲“2007年全省國企創建四好領導班子先進集體”稱號。
●2007年順利通過四川三峽認證公司審核。當年8月，我們獲得了ISO9001:2000: 2000質量標準、ISO14004:2004: 2004環境標準和GB/T 28001-2001職業健康安全標準的認證。並被四川省質量技術監督局授予2007年“質量月”榮譽稱號。
●2008年4月29日，總投資25億元的240兆瓦光伏項目壹期工程在峨眉山市文賦河舉行奠基儀式。壹期工程120MW進展順利，預計2009年上半年建成投產。
單晶矽廠從事單晶矽的研究和生產已有40多年。經過多年的發展，峨眉半導體材料廠獨
晶體矽的產能不斷擴大。直拉晶體產能達到65438±0.20噸/年，其中太陽能級產品65438±0.00噸/年，IC級單晶65438±0.5噸/年，晶體管級產品5噸/年，區熔單晶產能30噸/年，最大直徑ф5。其中NTDFZ單晶產品在國內市場占有較大份額，是我廠的拳頭產品。我們也是國內唯壹能提供真空區熔超高阻單晶矽的企業，產品廣泛應用於特種器件的生產。
單晶矽廠是專業從事直拉和區熔單晶研究和生產的下屬單位，擁有壹大批專業技術人員和高水平拉晶技術人員。我們擁有世界先進的F Z-30爐、C G6000、T D R80等矽單晶制造設備，以及強大的設備管理團隊。國產熔煉爐在我廠得到了很好的應用，這與電器改造的水平是分不開的。
多晶矽廠從事多晶矽的研究和生產已有30多年。經過長期的技術研究和生產體系的改進，解決了西門子工藝技術，攻克了“西門子法改進”中的四大核心技術。擁有自主知識產權。隨著“年產100噸多晶矽國家重點工業實驗線”的建成和完善，多晶矽產能達到100噸/年，產品質量不斷提升。產品的技術質量指標符合電路級、晶體管級、太陽能級直拉單晶和區熔單晶的要求。同時也結束了我們多晶矽不出口的歷史。除了滿足我們自己的需求，我們的產品還銷往世界各地，並得到了客戶的好評。2006年，中國第壹條年產200噸多晶矽生產線建成，使中國多晶矽生產技術進入世界先進行列。擁有國內產量最大、質量最好的具有自主知識產權的多晶矽生產線，國內80%的多晶矽專家和壹流的工藝研究、制造、設備維護專業技術團隊。
現有員工300多人，工程技術人員60多人。
單晶矽片的生產和加工已有20多年的歷史。其中N < 100 >和P < 11 > IC級拋光片獲得國家銀獎。投資後，他們現在擁有每年拋光30萬片晶片、矽化腐爛晶片60萬片和矽研磨晶片280萬片的能力。擁有D S261，265多線切割機、T S-23內切割機、W-S-4000倒角機、SPEODFOM磨床、拋光機等多臺世界先進的高精度加工設備，最大加工直徑ф6，最薄磨片200微米，可為集成電路制造、分離器件制造提供優質單晶矽片。
董琦峨眉半導體材料廠高純事業部(原高純金屬及化合物材料分廠)成立於1964，是中國第壹家技術最全、品種最全的高純金屬材料廠，也是中國唯壹壹家分析測試中心和環保設施齊全的高純金屬材料研究單位。