振動傳感器按其功能可分為:按機械接收原理;相對式和慣性式;根據機電轉換原理,分為電動式、壓電式、渦流式、電感式、電容式、電阻式、光電式;根據被測機械量:位移傳感器、速度傳感器、加速度傳感器、力傳感器、應變傳感器、扭振傳感器、扭矩傳感器。
1、相對電傳感器電傳感器是基於電磁感應的原理,即當運動的導體在固定的磁場中切割磁力線時,導體兩端會感應出電動勢,所以利用這種原理制作的傳感器稱為電傳感器。相對電傳感器是根據機械接收原理的位移傳感器。因為在機電轉換原理中應用了電磁感應定律,其產生的電動勢與測量的振動速度成正比,所以實際上是壹種速度傳感器。
2.電渦流傳感器電渦流傳感器是壹種相對非接觸式傳感器,通過傳感器端與被測物體之間距離的變化來測量物體的振動位移或振幅。電渦流傳感器具有頻率範圍寬(0 ~ 10 kHz)、線性工作範圍大、靈敏度高、非接觸測量等優點。主要用於旋轉機械中轉軸的靜態位移、振動位移的測量和振動監測。
3.電感式傳感器根據傳感器的相對機械接收原理,電感式傳感器可以將被測機械振動參數的變化轉化為電參數信號的變化。因此,電感傳感器有兩種形式,壹種是可變間隙,另壹種是可變導磁面積。
4.電容式傳感器電容式傳感器壹般分為兩種。也就是說,可以改變間隙類型和可變公共區域類型。可變間隙式可以測量線性振動的位移。變面積公式可以測量扭轉振動的角位移。
5.慣性電傳感器慣性電傳感器由固定部分、活動部分和支撐彈簧部分組成。為了使傳感器起到位移傳感器的作用,其可動部分的質量應足夠大,支撐彈簧的剛度應足夠小,即傳感器應具有較低的固有頻率。根據電磁感應定律,感應電動勢為:u = blx &;其中b為磁通密度,l為線圈在磁場中的有效長度,r x & amp;是線圈在磁場中的相對速度。從傳感器的結構來看,慣性電傳感器是壹種位移傳感器。但由於輸出電信號是由電磁感應產生的,根據電磁感應定律,當線圈在磁場中相對運動時,感應電動勢與線圈切割磁力線的速度成正比。所以就傳感器的輸出信號而言,感應電動勢與測得的振動速度成正比,所以它實際上是壹個速度傳感器。
6.壓電加速度傳感器壓電加速度傳感器的機械接收部分是慣性加速度機械接收的原理,機電部分利用壓電晶體的正壓電效應。其原理是壹些晶體(如人工極化陶瓷、壓電應時晶體等。),不同的壓電材料有不同的壓電系數,壹般可以在壓電材料性能表中找到。)在壹定方向的外力作用下或受到形變時,其晶面或極化面上會有電荷。這種從機械能(力、變形)到電能(電荷、電場)的轉化稱為正壓電效應。電能(電場、電壓)到機械能(形變、力)的轉換稱為逆壓電效應。因此,晶體的壓電效應可以用來制作力傳感器。在振動測量中,由於壓電晶體上的力是慣性質量的慣性力,產生的電荷量與加速度成正比,所以壓電傳感器就是加速度傳感器。
7.在振動測試中,壓電式力傳感器除了測量振動外,往往還需要測量施加在試樣上的動態激振力。壓電式力傳感器具有頻帶寬、動態範圍大、體積小、重量輕等優點,因此得到了廣泛的應用。壓電式力傳感器的工作原理是利用壓電晶體的壓電效應,即壓電式力傳感器輸出的電荷信號與外力成正比。
8.阻抗頭阻抗頭是壹種綜合性傳感器。它集成了壓電式力傳感器和壓電式加速度傳感器,作用是同時測量力傳遞點的激勵力和運動響應。所以阻抗頭由兩部分組成,壹個是力傳感器,壹個是加速度傳感器。它的優點是測量點的響應就是激勵點的響應。使用時,小頭(測力端)連接在結構上,大頭(測加速度)連接在激振器的施力桿上。激振力信號從“力信號輸出端”測得,加速度響應信號從“加速度信號輸出端”測得。註意阻抗頭只能承受輕載,所以只能用於測量輕結構、機械零件和材料樣品。無論是力傳感器還是阻抗頭,它的信號轉換元件都是壓電晶體,所以它的測量電路應該是電壓放大器或者電荷放大器。
9.電阻應變傳感器電阻應變傳感器將測量的機械振動轉換成傳感元件電阻的變化。實現這種機電轉換的傳感器元件有很多種,其中最常見的是電阻應變傳感器。電阻應變片的工作原理是:當應變片粘貼在壹個試件上時,試件受力變形,應變片原來的長度發生變化,從而使應變片的電阻發生變化。實驗表明,在試樣的彈性變化範圍內,應變片電阻的相對變化與其長度的相對變化成正比。