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羅茨泵真空度的確定原理

羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是壹種旋轉式可變排量真空泵。它是由羅茨鼓風機演變而來的。根據羅茨真空泵工作範圍的不同,可分為直接排氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。壹般來說,羅茨泵具有以下特點:

它在較寬的壓力範圍內具有較大的抽吸速度;

快速啟動,可以立即工作;

對泵送氣體中包含的灰塵和水蒸氣不敏感;

轉子不需要潤滑,泵腔內沒有油;

振動小,轉子動平衡條件好,無排氣閥;

驅動功率低,機械摩擦損失小;

結構緊湊,占地面積小;

運行和維護成本低。

因此,羅茨泵廣泛應用於冶金、石油化工、造紙、食品和電子行業。

羅茨泵的工作原理:

羅茨泵的結構如圖所示。在泵室內,兩個8字形轉子垂直安裝在壹對平行軸上,壹對傳動比為1的齒輪帶同步反方向運動。轉子之間以及轉子與泵殼內壁之間有壹定的間隙,可以實現高速運轉。羅茨泵是壹種無內壓縮的真空泵,壓縮比通常很低,因此高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空不僅取決於泵本身的結構和制造精度,還取決於前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,羅茨泵可以串聯使用。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由於轉子的連續旋轉,泵送的氣體從進氣口被吸入轉子和泵殼之間的空間v0,然後通過出氣口排出。因為吸氣後v0空間是完全封閉的,泵腔內的氣體不會壓縮膨脹。

但當轉子頂部繞排氣口邊緣轉動,v0空間與排氣側相通時,由於排氣側氣體壓力高,部分氣體又沖回v0空間,使氣體壓力突然增大。當轉子繼續旋轉時,氣體從泵中排出。

圖為羅茨泵轉子從0到180的泵送過程。在0(圖中的A)位置,下轉子密封來自泵入口的v0體積的氣體。當它轉到45°位置(圖中的B)時,空腔與排氣口連通。由於排氣側的高壓,壹部分氣體回流。當轉動到90°位置(圖中C)時,由下轉子密封的氣體與反洗氣體壹起被排出泵外。此時,上部轉子也密封來自泵入口的v0體積氣體。當轉子繼續旋轉到135(圖中D)時,上轉子密封的氣體與排氣口相通,重復上述過程。180(圖E)的位置與0的位置相同。轉子軸旋轉壹周* * *排出四個v0體積的氣體。

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