上海新陽:預計阿斯麥-1400光刻機將於3月底前進入合作方現場。
65438+10月5日，上海新陽發布公告稱，公司與北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司簽署合作框架協議，雙方將在北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司指定的工廠合作建設光刻膠驗證平臺。
今後，公司購買的用於研發193nm ArF幹法光刻膠的阿斯麥-1400光刻機將放置在合作方指定的地方，安裝好底座後即可調試使用。預計2021三月底前，光刻機將進入合作方場地。
聖泉集團IPO將舉行，擬募資6543.8+0.2億元布局上遊光刻膠材料。
65438+10月7日，中國證監會召開第十八屆發行審核委員會第四次會議2021，濟南聖泉集團股份有限公司(IPO)獲得通過。
招股書顯示，公司本次擬公開發行不超過6，543.8億元人民幣普通股，不低於本次發行後股本的654.38+00%。扣除發行費用後，募集資金將按優先順序投資於以下項目:
來源:聖泉集團
7000萬股景瑞被引入ArF掩模對準器。
19年10月19日，景瑞股份發布《關於購買光刻機設備進展的公告》。公告稱，公司成功采購了壹臺型號為阿斯麥XT 1900 Gi的光刻機。
從光刻機購買的設備是阿斯麥XT 1900 Gi ArF浸沒式光刻機，可以用來顯影高端光刻膠，最高分辨率28nm。設備於2021 1 19抵達蘇州，並成功搬入公司高端光刻膠研發實驗室。
年產1600噸光刻膠材料項目落戶山東。
6月23日，2021項目集中簽約儀式在山東威海南海新區舉行，11項目集體簽約。此次簽約的項目包括光刻膠核心材料等項目。
其中，光刻膠核心材料項目主體為山東科萊福光電科技有限公司，成立於2020年6月。該項目建築面積3萬平方米，擬建設包括顏料綠G58生產在內的新材料生產基地。