有機矽雖然應用非常廣，但其歷史不過壹百多年。
1863年，法國化學家弗裏德爾（C.Friedel)及克拉夫茨（J.M.Crafts)從SiCl4與ZnEt2出發，在160℃下的封管中反應，制得了第壹個含Si-C鍵的有機矽化合物SiEt4:
2ZnEt2+SiCl4SiEt4+2ZnCl2
1872年，拉登堡（A.Ladenburg)使用ZnEt2、Si(OEt)3Cl與Na反應，制得了帶矽官能基的矽烷。兩年後，他又從HgPh2與SiCl4出發，在封管中制得了PhSiCl3。1885年，波利斯（A.Polis）應用納縮合法(即Wurtz反應)制得SiPH4等。壹直到1903年，許多化學家為有機矽化學誕生付出了心血。人們習慣將這壹階段稱為有機矽化學的創始期。 英國化學家基平（F.S.Kipping）從1898年到1944年對有機矽化學進行了廣泛而深入的研究，先後發表論文57篇。他的突出貢獻之壹是將格利雅（Grignard）反應用於合成不同官能度的可水解矽烷，並成為日後有機矽工業的基礎。該反應可示意如下：
溶劑
3RMgCl+2SiCl4 =RSiCl3+ R2SiCl2+3MgCl2
在此期間，迪爾塞（W.Dilthey）幾乎與基平同時應用格利雅法合成了有機矽化合物。接著他又將Ph2SiCl2水解成Ph2Si(OH)2，並進而縮合得到六苯基環三矽氧烷（Ph2SiO）3,
這是第壹個環狀矽氧烷化合物，對推動聚矽谷氧烷的發展起到良好的作用。後人稱這段時間為有機矽的成長期。
進入20世紀30年代末，美國康寧玻璃公司的海德（J.F.Hyed），通用電氣公司的帕諾德（W.J.Patnode）及羅喬（E.G.Rochow）,前蘇聯的多爾高夫及安德裏諾夫以及德國的米勒等認識到有機矽聚合物的應用前景，開始探索具有玻璃性能的耐熱性有機聚合物。先制成了矽樹脂，1940年又制得了二甲基矽油。1941年Rochow發明了直接法合成有機氯矽烷，緊接著米勒也申請了直接法專利。1942年美國道（Dow）化學公司建成了甲基苯基矽樹脂及二甲基矽油中間試驗裝置。1943年，道化學與康寧玻璃公司合資成立道康寧（Dow Corning,DC）公司，專門從事有機矽的生產與研究。1947年，通用電氣（General Electric,GE）公司成立有機矽部（後賣給了阿波羅私募基金，成為現在的邁圖有機矽）。進入50年代，德國的瓦克（Wacker,1951）拜耳（Bayer,1952後與GE合資），及戈特斯密特（Goldschmidt）;日本的信越化學（1953），東京芝浦電氣（1953年並入東芝有機矽公司，後與GE合資）及東麗有機矽公司（1966，後與DC合資，並以DC為主）；法國的羅納-普朗克（Rhone-Poulenc,後並入我國的藍星）等紛紛建立有機矽生產裝置。、
1938年至1965年間，由於單體產量及產品品種的增加，分離純化動技術的進步及聚合工藝的改進，各種矽油，矽橡膠及矽樹脂產品相繼問世。人們稱這壹階段為有機矽的發展期。
1965年以後，各工業發達國家的有機矽開發研究，工業生產及推廣應用已進入全面發展的新階段。
中國的有機矽技術開發起步於1952年。當時，北京化工試驗所（沈陽化工研究院前身）重點開發格利雅法合成有機氯矽烷技術，上海有機化安所（中國科學院化學研究所前身）側重研究矽氧烷的平衡與聚合。1956年，沈陽化工研究院建成有機矽中間試驗車間，1958年上海樹脂廠建成直接法合成有機氯矽烷生產裝置。1967年北京化工研究院及沈陽化工研究院有機矽部分並入晨光化工研究院。1968年，星火化工廠成立（藍星有機矽的前身）這期間有機矽研究單位及生產廠家發展較快。現今，中國已成為有機矽材料最大的消費國與生產國。