浙江啟爾機電技術有限公司成立於2013年,主要研發、生產和銷售高端半導體裝備超潔凈流控系統及其關鍵零部件。啟爾機電前身是浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊。
壹、浙江啟爾機電技術有限公司成立於2013年,2017年8月簽約入駐青山湖科技城,公司主要研發、生產和銷售高端半導體裝備超潔凈流控系統及其關鍵零部件。啟爾機電前身是浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊,先後承擔國家863計劃和國家科技重大專項等科研項目30余項,總投資約10億元,已獲授權發明專利100余項。公司員工130余人,其中:高級職稱7人,博士10人,在職博士6人。啟爾團隊深耕於高端半導體裝備細分領域的尖端技術,經過十六年堅持不懈的基礎研究和技術攻關,已成長為該技術領域全球前三,國內唯壹高科技公司,具有不可替代的行業地位。
二、浙江啟爾機電有限公司主要從事微電子制造裝備。公司前身為浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室的科研團隊,該團隊自2004年以來,在國家863計劃和國家重大專項等科研項目支持下,對“光刻機浸液系統”開展了十余年的技術攻關和產品研發,擁有國內領域最強技術積累和100余項發明專利。公司主要產品“光刻機浸液系統”是浸沒式光刻機的四大核心部件之壹,得到國家02重大科技專項支持。2013年團隊轉型為公司化運行,使研發和管理體系得到不斷完善。公司將於近期在青山湖科技城建設光刻機浸液系統產品研制與小批量生產基地。未來,公司將繼續依托浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室等***研究平臺,專註於“光刻機浸液系統”的產品研制,矢誌成為我國半導體裝備產業的核心企業。
三、經營範圍:壹般項目:機械設備研發;技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣;半導體器件專用設備制造;半導體器件專用設備銷售;儀器儀表制造;儀器儀表銷售;泵及真空設備銷售;泵及真空設備制造;機械零件、零部件銷售;機械零件、零部件加工;機械設備銷售(除依法須經批準的項目外,憑營業執照依法自主開展經營活動)。許可項目:技術進出口;貨物進出口(依法須經批準的項目,經相關部門批準後方可開展經營活動,具體經營項目以審批結果為準)。