1891年，德國林德公司在冷凍機械制造公司的實驗室開始空氣液化工作。
1895年，林德教授利用焦耳--湯姆遜效應制成第壹臺液體空氣裝置。
1901年，林德公司在慕尼黑市建立低溫設備制造車間。
1902年，林德設計的第壹臺單級精餾塔的空分設備制成。法國克勞特發明了膨脹機，在巴黎建立空氣液化公司。
1903年，林德公司制成第壹臺工業性10m3/h的制氧機，采用高壓節流的高壓流程。
1910年，法國制成第壹臺采用中壓帶活塞膨脹機的中壓流程的50m3/h制氧機。
1920年，德國海蘭特發明了可生產液氧的高壓帶膨脹機的高壓流程。
1924年，法蘭克爾建議在大型空分設備是采用金屬填料的蓄冷器代替壹般的熱交換器。
1926年，法蘭克爾提出普通形式蓄冷器。
1930年，林德公司制成第壹臺工業規模的林德--法蘭克爾裝置，產量為255m3/h，純度為99.5%O2 。
1932年，透平膨脹機第壹次應用於林德--法蘭克爾裝置上。德國第壹次在冶金和合成氨工業中用氧。
1939年，蘇聯創造了高效率的透平膨脹機，並開始研究全低壓空分設備。
1947年，林德公司致力於全底壓工業氧制造設備。蘇聯開始設計全低壓流程的大型工業氧裝置。
1949年，美國第壹次在29000m3/h制氧機上應用板翹式換熱器。
1952年，奧地利首先使用純氧頂吹轉爐煉鋼，促使冶金用氧劇增。
1955年，美國大力發展導彈，消耗大量液氧作為助燃劑。
1957年，第壹臺自動操作的120噸/天制氧機制成。
1960年，日本完成了10000m3/h99.6%O2和10000m3/h99.99%N2的雙高純度的大型全低壓設備。
1972年，法國制成世界上最大容量的純氧空分設備：1700噸/天O2和1500噸/天N2 。
目前正在研究更大型的機組。
1-2 變壓吸附制氧的發展歷史
變壓吸附分離技術被發明以來，廣泛地應用於氣體混合物的分離精制。
首先，1958 年，Skarstorm 申請專利並應用此技術分離空氣。同時，Gerin de Montgareuil 和Domine 也在法國申請專利。兩者的差別是，Skarstorm 循環在床層吸附飽和後，用部分低壓的輕產品組分沖洗解吸，而Gerin-Domine 循環采用抽真空的辦法解吸。
1960 年大型變壓吸附法空氣分離的工業化裝置建成。
1961 年用變壓吸附分離工藝從石腦油中回收高純度的正構烷溶劑，並命名為Isosiv 過程，1964年完善了從煤油餾分中回收正構烷烴的工藝。
1966 年利用變壓吸附技術提氫的四塔流程裝置建成，20 世紀70 年代後采用四塔以上的多塔操作，並向大規模、大型化發展。
1970 年又建成分離和回收氧的工業化裝置，用於環保工業汙水處理生化的需要。同時被廣泛用於從石腦油中提取正構烷烴，再經異構化，將異構化產物加入汽油餾分中，以提高其辛烷的Hysomer過程。
1975 年試制成醫用富氧濃縮器，1976 年開發了用碳分子篩變壓吸附制氮的工藝並工業化，隨後采用5A沸石分子篩抽真空制氮工藝。到1983年德國推出性能優良的制氮用碳分子篩。到1979年為止，約有壹半的空氣幹燥器采用Skarstrom 的變壓吸附工藝。變壓吸附用於空氣或工業氣體的幹燥比變溫吸附更為有效。1980年開發了快速變壓吸附工藝（又稱為參數泵變壓吸附）。
從20 世紀90年代起，由於電能緊張，變壓吸附制氧又在煉鋼等領域占有了壹席之地。
1-2-1 我國對變壓吸附制氧技術的研究
我國對變壓吸附制氧技術的開發起步較早，從1966年開始研究沸石分子篩分離空氣制氧技術；20世紀70年代PSA分離空氣制氧在鋼鐵、冶煉和玻璃窯等工業領域已經得到了廣泛的應用。20多年來，由於技術力量分散，相互之間缺少聯絡，我國的變壓吸附制氧技術發展緩慢，同國外的差距越來越大。20世紀70年代是我國PSA分離空氣制氧技術發展的鼎盛時期，全國有十幾個單位相繼開展了變壓吸附制氧技術的實驗研究，建立了數套工業試驗設備。這個時期開發的變壓吸附制氧設備的***同點有以下幾個方面：
（1）大多采用高於大氣壓吸附、常壓解吸流程，吸附塔有兩個到四個；
（2）空氣進入吸附塔前，經過脫水預處理；
（3）設備可靠性差，不能連續穩定運行，導致大部分設備報廢；
（4）技術、經濟指標落後。
20世紀80年代，原來從事變壓吸附制氧裝備研制單位的開發項目相繼中止，我國變壓吸附制氧技術的開發再次進入低谷。
河南洛陽鋼鐵廠建成VSAO 1000Nm3/h制氧機，標誌著變壓吸附在我國正式進入工業領域，也標誌著變壓吸附在我國進入高速發展時期。
20世紀90年代是我國變壓吸附制氧技術突飛猛進向前發展的時期，變壓吸附制氧技術逐漸成熟，有些產品的綜合技術經濟指標已經接近國外先進水平。多年的實踐表明，我國變壓吸附制氧技術已經走出實驗室步入實用化階段。在近十年內，通過不斷地技術更新和研究開發，我國變壓吸附制氧技術日新月異，發展迅速，與世界先進水平之間的差距正在不斷縮小。但從整體水平上看，我國在很多方面與國際先進水平仍有壹定的差距。如在新型高性能的吸附劑的研究，吸附流程的改進，理論分析研究和數學模型的建立，質量監控與自動化控制等許多方面。