目前工業上有這兩種
(1)低溫空氣分離制氧：特點是氧氣純度高，同時可生產氮氣、氬等氣體和液體。能耗大，成本貴。?
(2)變壓吸附制氧：特點是純度低(純度大於92%)，但價便宜。
(1)低溫空氣分離制氧：
根據熱力學原理，壓縮空氣再迅速膨脹可以讓空氣溫度降低幾十度，重復這個過程直到溫度降至使空氣液化，由於氮氣的沸點比氧氣低，控制溫度上升到氮氣的沸點就把氮氣氣化分離，剩下的就主要是液氧了。
(2)變壓吸附制氧
機器制氧，煤化工的用氧量很大，變壓吸附制氧所產氧氣量是比較小的，且品種比較單壹，不能滿足煤化工氧氣流量要求和對氮氣的需求。深冷法分離空氣制氧技術成熟，純度、供應能力都是可以保證的，60000Nm3/h制氧能力甚至100000Nm3/h的空分制氧機都有很多成功。