首先，皮拉尼真空計
1.皮拉尼真空計原理將電阻絲加熱到所需的工作溫度。因為氣體粒子與電阻絲碰撞並帶走能量，電阻絲的溫度會發生變化。熱線的能量損失與熱線周圍的氣體濃度和氣體成分成正比。
2.推導出兩種類型的皮拉尼規則。
1)穩定溫度，並測量施加的電壓變化來測量真空當量。
2)穩定電壓並測量溫度變化以測量真空當量(熱電偶規)。
3.氣體的熱傳導與以下條件有關:
1)氣體類型2)壓力大小
4.皮拉尼真空計測量範圍和精度測量範圍(空氣、氧氣、壹氧化碳、氮氣):5 x 10-4至1000毫巴精度(氮氣):1x10-3...100毫巴。
5.皮拉尼真空計的優良特性在不影響精度和速度的情況下，最大限度地保護了燈絲部分，大大延長了燈絲的使用壽命。
6.皮拉尼真空計的具體型號
皮拉尼電容膜片復合真空計
1)皮拉尼規和特種陶瓷膜規結合在壹起。
2)兩個原則起作用的整個調節過程。
3) 100毫巴—1000毫巴使用薄膜壓力計信號。
4)同時使用1毫巴–100毫巴信號。
5)5x 10-4m bar–1m bar采用皮拉尼信號。
6)輸出真空信號(電壓)連續無跳變。
7)皮拉尼真空計應用行業各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏、鍍膜、等離子行業，如照明、冶金L真空聯鎖控制、高真空計點火開關控制。
二、電容薄膜規
1.電容式薄膜應變片工作原理L壓力使膜片變形，變形量與壓力成正比。l通過測量陶瓷膜片在不同壓力下的變形來測量真空度。
2.電容式薄膜壓力計具有以下特點:l基於可靠的超純陶瓷傳感器室；l在惡劣和腐蝕性環境中穩定可靠的高精度壓力測量；l快速預熱和恢復時間，提高生產率；l出色的長期穩定性、再現性和可重復性；l由於電子元件直接安裝在傳感器上，改善了溫度補償和EMC兼容性，降低了對環境條件變化的敏感性，使測量更加穩定，快速預熱，快速穩定並在啟動後壹分鐘內進入備用狀態；以及壹鍵按鈕:置零功能和設定點調整。耐腐蝕超純陶瓷傳感器可以承受包括大氣壓沖擊在內的數百萬次壓力循環，沒有任何退化跡象，暴露在大氣壓下後迅速恢復。無需隔離閥，l對蒸汽介質不敏感，l先進的傳感器屏蔽(專利)延長了真空計在汙染過程中的使用壽命。
3.陶瓷技術的優越性
1)沒有記憶效應。
2)陶瓷沒有疲勞問題。
3)最佳溫度補償
4)零穩定性好，使用成本低
5)非凡的使用壽命
6)不需要隔離閥。
4.測量範圍
5.熱膜壓力計
6.加熱型的優點l零點漂移極小0.1%FS/年(潔凈真空環境)l精度更高l環境溫度變化/環境壓力變化/環境氣流變化對精度無影響l預熱啟動時間比過程快l快速恢復時間大氣壓
7.電容式薄膜應變儀的應用對應用條件要求很高。準確快速的壓力測量L用於刻蝕，CVD，PVD，ALD半導體設備制造，如太陽能光伏行業的PECVD，陶瓷型壹般用於刻蝕，抗汙染性能好。
第三，熱電偏差
1.熱電偏離理查森效應原理:高溫燈絲發射電子，高能電子與氣體分子碰撞，氣體分子的壹個或多個電子被撞出，形成帶正電荷的離子。
1)帶電離子被離子收集器捕獲，收集放大後輸出。
2)離子流量與氣體壓力成正比。
2.兩種類型的熱電式偏差規
3.熱電釋放復合壓力計L HP G400L bpg 400/-SP/-SD/SR L bpg 402 L BCG 450 b-A壓力計、皮拉尼壓力計和薄膜壓力計組合在壹起L。
4.優點和應用:l BPG n具有廣泛的測量範圍，壹個壓力表覆蓋13測量範圍5x 10-10–1000 mbar n，具有高精度和出色的重復性。5% nYttrium鍍銥燈絲抗氧化性能極佳，皮拉尼自鎖保護，燈絲不會因突然暴露在大氣中而燃燒。N校準調整方便N註意事項:U對氣體有選擇性，U抗汙染能力弱，N廣泛用於從低到超高真空的測量，N廣泛應用於工業、半導體和科研行業，l BPG402 n雙燈絲大大延長使用壽命，N電離規的工作可定制控制N探頭備件的校準參數。保證準確度和重復性l HPG400 n電離規和皮蘭尼的化合物N皮蘭尼自鎖保護電離規N電離規的工作起點可在壹定範圍內定制N簡單的校準功能N相對便宜的價格l BCG450 n可調節電離規工作起點N優異的重復性N精確的大氣終點測量。
第四，冷電離規(潘寧規)
1.冷電離規的原理是通過氣體放電產生電子，電子通過磁場獲得能量電離氣體分子。2.潘寧規的特點及應用L測量範圍:5x10-9至0x1x10-2 mbar L全金屬密封L無燈絲L易清洗L適用於普通高真空測量。
3.MPG400冷鐓機的特點及應用。冷規和皮拉尼規的復合測量範圍很寬:5x10-9-1000 mbar。易於維護和清潔。L無高真空燈絲，L用於普通高真空測量。